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無油干式機械真空泵（又簡稱干式機械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。一、產(chǎn)品介紹2013年止，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴重變質(zhì)，使泵不能正常工作。對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能問題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。二、應(yīng)用干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。三、分類干式真空泵主要有下列幾種形式：雙圓裂片式雙圓裂片式設(shè)計和目前最流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實上，一些最早期的干泵設(shè)計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設(shè)計使得氣體通路相當復(fù)雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設(shè)計由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。三葉圓裂片式三葉圓裂片式設(shè)計和雙圓裂片式設(shè)計的原理完全相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計有著相同的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動的能力—下降。同雙圓裂片式設(shè)計一樣，三葉圓裂片式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。組合式(羅茨+爪)組合式(羅茨+爪)設(shè)計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計完全相同。也有些廠家將其最后一級改為星型設(shè)計，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設(shè)計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。外部壓縮型螺桿式在外部壓縮型螺桿式設(shè)計中，使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最小，同時使得氣體通路最短也最簡根據(jù)世界核協(xié)會（wna）的定義，小型模塊堆（smr）是指裝機容量等于或低于300mwe、采用了模塊技術(shù)從而適于在工廠進行模塊化制造的反應(yīng)堆。由于擁有不同于大型商業(yè)反應(yīng)堆的一些特點，例如造價低、建設(shè)周期短、適于在偏遠地區(qū)和電網(wǎng)不發(fā)達地區(qū)建設(shè)，smr的市場前景被廣泛看好，有些人甚至認為smr能夠改變核工業(yè)的游戲規(guī)則。全球因此出現(xiàn)了一波smr研發(fā)熱潮，許多技術(shù)開發(fā)商正在進行著激烈的研發(fā)競賽。首先建成首堆并經(jīng)過實際市場檢驗的smr設(shè)計必然能在未來的市場競爭中拔得頭籌。根據(jù)國際原子能機構(gòu)（iaea）提供的信息，全球共有11個國家正在開展smr研究，已公布的smr設(shè)計共有約50種：3種設(shè)計的首堆已啟動建設(shè)，將在未來幾年內(nèi)投入運行；另有超過20種設(shè)計準備在未來10年內(nèi)建設(shè)首堆。因此，可以說，smr即將進入小規(guī)模商業(yè)示范階段。
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