北京冠普佳科技有限公司 
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測量顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進行晶體，集成電路的檢驗和精確測量。配備有冷光源光纖反射照明，成像和觀察系統(tǒng)，偏光裝置。
● 無限遠光學(xué)系統(tǒng),管鏡焦距200mm
● 鉸鏈式三目鏡筒,30°傾斜，瞳距55-75mm
● 高眼點、視場目鏡WF10X/22
● 五孔物鏡轉(zhuǎn)換器
● 長工作距離平場復(fù)消色差物鏡
    Plan Apo 2X/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率5μm,
    Plan Apo 5X/0.14   W.D. 45mm 分辨率2μm,
    Plan Apo 10X/0.28  W.D. 34mm 分辨率1μm,
    Plan Apo 20X/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率1μm
    Plan Apo 50X/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm
● 調(diào)焦系統(tǒng)同軸粗微調(diào)焦機構(gòu),微動格值0.002mm
● 載物臺  6″x8″雙層活動平臺,移動行程153x204mm
● 三維測量系統(tǒng)  
    分辨率： 1μm
    測量精度:  ±(2+L/200)μm
    重復(fù)定位精度:  2μm
    照明系統(tǒng)  
●     冷光源光纖反射照明器：12V150W，特別明亮清晰
●     選配：
    完善和全面的測量軟件
    --------完整的幾何量測(如:點,線,圓,弧,角度等)
    --------坐標系的設(shè)定，擺正,旋轉(zhuǎn)
    --------顯示方式多樣化；語言的轉(zhuǎn)換，公英制單位的轉(zhuǎn)換,角度的轉(zhuǎn)換