產(chǎn)品介紹 真空鍍膜設(shè)備主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。產(chǎn)品屬性 需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。 使用方法 嚴(yán)格按照產(chǎn)品說明書操作使用,如出現(xiàn)不能解決的問題及時撥打我們的售后電話故障排除
詳細(xì)內(nèi)容請見產(chǎn)品說明書操作使用,如出現(xiàn)不能解決的問題及時撥打我們的售后電話。安裝、維護
1. 開水泵、氣源 2. 開總電源 3. 開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進入下一步操作。約需5分鐘。 離子鍍膜設(shè)備+所鍍產(chǎn)品圖
4. 開機械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。 5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,關(guān)予抽,開前機和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子槍電源注意事項 1真空鍍膜設(shè)備每完成200個鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。
2當(dāng)粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個月(雨季減半),需更換新油。
3、擴散泵連續(xù)使用6個月以上,抽速明顯變慢,或操作失當(dāng),充入大氣,拆去聯(lián)結(jié)水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,裝好泵膽,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。其他說明 蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且最終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過 蒸發(fā)鍍膜設(shè)備+所鍍產(chǎn)品圖
程,最終形成薄膜。交易說明 歡迎廣大客戶來廠、參觀選購
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