硅片腐蝕機(jī) 型號(hào)：CGB-XXXX—XX系列，品牌：華林嘉業(yè)—CGB⑴整機(jī)采用德國(guó)進(jìn)口磁白色PP板焊接而成，本機(jī)每槽可同時(shí)清洗2個(gè)花籃。本設(shè)備外型美觀(guān)，耐酸性能好，操作方便，運(yùn)行可靠，是半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)理想的硅片清洗設(shè)備。該設(shè)備適用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圓片的清洗腐蝕。 ⑵本設(shè)備由機(jī)架部分、整機(jī)部分、槽體部分、伺服系統(tǒng)、及機(jī)械傳動(dòng)部分、電氣控制系統(tǒng)構(gòu)成。⑶工藝過(guò)程全自動(dòng)，機(jī)械手在槽間轉(zhuǎn)換靠PLC來(lái)控制，美國(guó)進(jìn)口導(dǎo)軌和機(jī)械手來(lái)滿(mǎn)足工藝時(shí)序。⑷除裝片和取片需人工外，其余工藝動(dòng)作均由機(jī)械手來(lái)實(shí)現(xiàn)，適用于連續(xù)批量生產(chǎn)。⑸機(jī)臺(tái)內(nèi)設(shè)高效過(guò)濾器，滿(mǎn)足凈化工作區(qū)工作（1000級(jí)~100級(jí)，10級(jí)為特級(jí)）。⑹人機(jī)界面為觸摸屏，有安全保護(hù)故障代碼，故障報(bào)警，工藝時(shí)序號(hào)，方便操作、易于維護(hù)。有需求此方面設(shè)備的朋友，歡迎來(lái)電咨詢(xún)