如何進(jìn)入無(wú)塵無(wú)塵車(chē)間？
1、  任何進(jìn)入無(wú)塵無(wú)塵車(chē)間的人，必須先進(jìn)入無(wú)塵更衣室，穿上無(wú)塵帽、無(wú)塵口罩、無(wú)塵衣、靜電防塵手套、無(wú)塵褲、無(wú)塵靴（如圖①所示）。經(jīng)過(guò)這套外形很“酷”的防塵裝備可將人們身上已有的灰塵隔離在無(wú)塵無(wú)塵車(chē)間之外，但這才是第一步。
2、  接著就要進(jìn)入風(fēng)淋室。所謂風(fēng)淋室是指一條“吹風(fēng)的長(zhǎng)廊”，不過(guò)在這條長(zhǎng)廊中吹出來(lái)的強(qiáng)風(fēng)是沒(méi)有任何靜電存在的離子風(fēng)。這種離子風(fēng)所具有的中和能力可以將人身上的正負(fù)電荷中和，而且依靠靜電黏附在毛發(fā)、衣服上的灰塵也會(huì)自動(dòng)脫落并粘在地板上的藍(lán)色洗塵墊上（如圖②所示）。
3、  走過(guò)風(fēng)淋室后，就進(jìn)入無(wú)塵無(wú)塵車(chē)間了。如果無(wú)塵無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)的產(chǎn)品要防靜電，則還要經(jīng)過(guò)“靜電橋”徹底地消除身上的靜電。若進(jìn)入百級(jí)無(wú)塵車(chē)間還重復(fù)2、3步驟動(dòng)作。什么是無(wú)塵概念？按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。  如表1所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。(1)無(wú)塵車(chē)間潔凈隧道(Clean
Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易；
B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)無(wú)塵車(chē)間潔凈管道(Clean
Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)無(wú)塵車(chē)間并裝局部無(wú)塵車(chē)間(Clean
Spot)：將無(wú)塵車(chē)間等級(jí)10,000~100,000之亂流無(wú)塵車(chē)間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；即屬此類(lèi)。