分辨率為0.1/0.5μm時(shí),精度可高達(dá)(1.3+0.6L/600)μm;確保垂直度(前部)達(dá)6μm,直線度達(dá)4μm;全/半空氣浮動(dòng)系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊;GO/NO-GO LED顯示.帶有基本統(tǒng)計(jì)功能,另外,通過(guò)RS-232C數(shù)據(jù)輸出與帶有SPC軟件的電腦相連, 
可實(shí)現(xiàn)外部測(cè)量數(shù)據(jù)評(píng)估;大容量數(shù)據(jù)存儲(chǔ),可儲(chǔ)存50個(gè)測(cè)量程序和60000個(gè)測(cè)量結(jié)果 。
測(cè)量范圍:0-600mm或972mm(使用第二測(cè)頭夾持桿),分辨率:0.0001/0.001mm可切換,測(cè)量精度:(1.1+0.6L/600)um L:測(cè)量長(zhǎng)度mm, 平面:0.5um孔2010-3-191um,6um(垂直度),4um(直線度),驅(qū)動(dòng)方式:手動(dòng)/電動(dòng)(7級(jí)調(diào)速),測(cè)量壓力:1N,平衡方式:配重平衡,標(biāo)準(zhǔn)附件:?5mm球形測(cè)頭與測(cè)頭直徑校驗(yàn)塊,氣源:內(nèi)置空氣壓縮機(jī)。
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