石墨舟裝片房
設(shè)備概述：本設(shè)備是用于太陽能行業(yè)與PECVD承載車配套,裝取硅片,配制中效及高效過濾器,確保吹出的空氣達到凈化要求.
石墨舟裝片房設(shè)備特點:
能保證與PECVD石墨舟承載車準確定位； 
采用不銹鋼制造，整機結(jié)構(gòu)堅固可靠； 
采用GK系列高效空氣過濾器3只； 
PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度; 
凈化風(fēng)機噪音小于50dB;