TESA VISIO 200 小量程的光學(xué)影像測(cè)量?jī)x采用了花崗巖底座保證了高的穩(wěn)定性,X 軸快速釋放開關(guān)可用于X 軸的快速移動(dòng)。
高精度工作臺(tái)
- 花崗巖底座
- 光柵尺分辨率:0.05um
- 高分辨率CCD 相機(jī)
- 固定倍率(0.5X、1X、2X、4X)或手動(dòng)變焦鏡頭(0.7-4.5X 分五個(gè)固定倍率)
- 透射光(綠色)和表面環(huán)形光均為L(zhǎng)ED 光源
- 測(cè)量范圍X/Y/Z:200x100x150mm
- 精度XY(E2)=3.0um+L/60(L為mm)
- 精度Z(E1)=5.9um+L/60(L 為mm)
- 工作臺(tái)承重:10Kg
- TESA Vista 或Pcdmis 軟件
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