臥式多級泵在泵殼內裝有一個與多級泵內表面靠近的偏心轉子，泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上、下滑動將多級泵腔分成兩個可變容積。定片式多級泵抽速較小，有單級、雙級之分，泵的極限真空可達10-1Pa。多級泵的結構簡單、使用壽命較長和檢修容易，但由于其工作性能不如旋片泵，所以目前已經很少生產和應用。